超精密铣削加工中心

    自主开发的三轴高精密数控铣床HUST-UPM250，数控系统采用SIEMENS 840Dsl，伺服轴采用SIEMENS直线电机(最大推力1040N，最大速度>50m/min,加速度 >1g)+海德汉HEIDENHAIN绝对值光栅尺（分辨率5nm），主轴采用Loadpoint气浮轴承主轴，最高转速90000r/min，最大径向跳动小于30nm，机床三轴的行程350×300×200mm，定位精度小于1μm，重复定位精度<0.5μm。